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提供一种用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层的蒸发源(102)。所述蒸发源(102)包括：材料源(140)，被配置为蒸发材料；气体源，具有第一气体出口(107a)及第二气体出口(107b)，第一气体出口被配置为提供第一处理气体，第二气体出...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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