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本发明的目的在于，减少晶片的面内的蚀刻变得不均的情况。本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和冷...
该专利属于住友大阪水泥股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过住友大阪水泥股份有限公司授权不得商用。

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