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在低温下具有高灵敏度的气体传感器装置及其制造方法制造方法及图纸
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下载在低温下具有高灵敏度的气体传感器装置及其制造方法的技术资料
文档序号:24043630
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本发明涉及一种用于生产气体传感器(2)的方法,该方法包括向基板(4)提供两个共面电极(6)的步骤以及在所述两个电极(6)上形成ZnO纳米线网络(8)的步骤。在所述两个电极(6)上形成ZnO纳米线网络(8)的步骤如下执行:用液相顺序生长法合成...
该专利属于卢森堡科学技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过卢森堡科学技术研究院授权不得商用。
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