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教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置制造方法及图纸
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下载教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置的技术资料
文档序号:24043624
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本发明提供一种即使在用于制作教学数据的缺陷的样品数量少的情况下也能够确保缺陷检查的精度的教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置。教学数据制作方法中,获取包含受光图像的训练用图像,所述受光图像是通过对具有缺陷的被检体照射光线或放射线而得...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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