【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置
本专利技术涉及一种教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置，尤其涉及一种制作在缺陷检查装置的学习中使用的教学数据的教学数据制作方法及装置以及伴随使用教学数据而学习的缺陷检查方法及装置。
技术介绍
专利文献1中公开有一种检查有无被检物的缺陷的缺陷检查装置。在专利文献1中，通过带通滤波器在人工缺陷图像中检测特定频率成分，并且在神经网络部学习人工缺陷图像，由此补偿学习图案的样品不足(从[0031]至[0032])。专利文献2中公开有具有重复图案的物体的缺陷检查装置。在专利文献2中，通过空间频率滤波器从经傅里叶变换的光去除重复图案([0008])。专利文献3中公开有根据通过照射被检查物并进行拍摄而获取的检查图像判定被检查物是否良好的缺陷检查方法。在专利文献3中，通过利用具有泛化能力的神经网络，以更少的教学数据进行高精度的缺陷检查([0040])。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-354251号公报专利文献2：日本特开平0...
【技术保护点】
1.一种教学数据制作方法，其具备：/n训练用图像获取步骤，获取包含受光图像的训练用图像，所述受光图像是通过对具有缺陷的被检体照射光线或放射线而得到并且是根据来自所述被检体的反射光或透射光而制作的；/n频率分布分析步骤，对所述训练用图像执行频率分布分析；/n输入步骤，接收用于指定频带的参数的输入；/n频带选择步骤，根据由所述参数指定的所述频带，从所述频率分布分析的分析结果选择频带信号；及/n教学数据制作步骤，针对与所述频带信号对应的图像获取表示缺陷的缺陷信息，并且根据所述缺陷信息制作在用于检查所述被检体的缺陷的缺陷检查装置的学习中使用的教学数据。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170919 JP 2017-1793771.一种教学数据制作方法，其具备：
训练用图像获取步骤，获取包含受光图像的训练用图像，所述受光图像是通过对具有缺陷的被检体照射光线或放射线而得到并且是根据来自所述被检体的反射光或透射光而制作的；
频率分布分析步骤，对所述训练用图像执行频率分布分析；
输入步骤，接收用于指定频带的参数的输入；
频带选择步骤，根据由所述参数指定的所述频带，从所述频率分布分析的分析结果选择频带信号；及
教学数据制作步骤，针对与所述频带信号对应的图像获取表示缺陷的缺陷信息，并且根据所述缺陷信息制作在用于检查所述被检体的缺陷的缺陷检查装置的学习中使用的教学数据。
2.根据权利要求1所述的教学数据制作方法，其中，
所述教学数据制作方法还具备：
显示步骤，在显示部中显示与在所述频带选择步骤中选择的所述频带信号对应的图像，
在所述教学数据制作步骤中，针对在所述显示部中显示的与所述频带信号对应的图像，接收表示缺陷或非缺陷的命令的输入，并且根据所述命令制作所述教学数据。
3.根据权利要求1所述的教学数据制作方法，其中，
在所述训练用图像获取步骤中，表示在所述训练用图像中包含的所述被检体的缺陷的缺陷信息与所述训练用图像建立关联地存储于存储部中，
在所述教学数据制作步骤中，获取与所述训练用图像建立关联地存储的所述缺陷信息，并且根据所述缺陷信息制作所述教学数据。
4.根据权利要求3所述的教学数据制作方法，其中，
在所述教学数据制作步骤中，获取包含所述被检体的缺陷的种类及缺陷的位置中的至少1个的缺陷信息。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的教学数据制作方法，其中，
所述教学数据制作方法还具备接收与所述被检体的材质及所述被检体中的缺陷对应的多个带通滤波器的登记的步骤，
在所述输入步骤中，接收从所述多个带通滤波器中指定用于选择所述频带信号的带通滤波器的参数的输入，
在所述频带选择步骤中，使用由所述参数指定的带通滤波器来选择所述频带信号。
6.根据权利要求5所述的教学数据制作方法，其中，
在所述输入步骤中，根据所...
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