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本发明的实施例所涉及的透射光学系统的检查装置包括：光源，用于向检查对象照射光；虚设结构物，布置在检查对象与所光源之间，并且包含预定形状的图案；以及图像获取设备，用于接收经过虚设结构物及检查对象的光并进行成像。通过虚设结构物，能够以高可靠性检...
该专利属于东友精细化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。

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