透射光学系统的检查装置及使用该装置的膜缺陷检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例所涉及的透射光学系统的检查装置包括：光源，用于向检查对象照射光；虚设结构物，布置在检查对象与所光源之间，并且包含预定形状的图案；以及图像获取设备，用于接收经过虚设结构物及检查对象的光并进行成像。通过虚设结构物，能够以高可靠性检测凹凸型缺陷。

Inspection device of transmission optical system and inspection method of film defects using the device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透射光学系统的检查装置及使用该装置的膜缺陷检查方法
本专利技术涉及一种透射光学系统的检查装置及使用该检查装置的膜缺陷检查方法。更详细而言，涉及一种用于收集透射对象的光的透射光学系统的检查装置及使用该检查装置的膜缺陷检查方法。
技术介绍
相位延迟器、偏光片或相位差膜等各种各样的光学膜在图像显示装置中被使用。另外，能够将各种有机和/或无机膜作为图像显示装置的功能层或保护层而插入。然而，在制造所述光学膜时，起因于外部环境或膜制造装置等而有可能会发生各种各样的不良。例如，异物可能会从所述外部环境混入形成光学膜的树脂组合物，或者在层压、硬化或剥离等工序中发生气泡，或者发生如划伤等物理损坏。在这种情况下，由于上述原因而可能在光学膜的表面产生凹凸、突起等缺陷或不均匀。在完成所述光学膜的制造之后，将包含多个所述缺陷的产品作为次品除去，并且为此应用缺陷检测装置进行检查工序。随着图像显示装置的分辨率增加且薄型化，有必要精密地检测甚至微小的缺陷。例如，在韩国公开专利第10-2017-0010675号公报中公开了一种光学膜的检查装置，但在检测上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透射光学系统的检查装置，包括：/n光源，用于向检查对象照射光；/n虚设结构物，布置在所述检查对象与所述光源之间，并且包含预定形状的图案；以及/n图像获取设备，用于接收经过所述虚设结构物及所述检查对象的光并进行成像，并且包括透镜和成像部，/n其中，所述光源、所述虚设结构物、所述检查对象和所述图像获取设备沿着直线依次布置，并且光的焦点通过所述透镜形成在所述虚设结构物上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170925 KR 10-2017-01233701.一种透射光学系统的检查装置，包括：
光源，用于向检查对象照射光；
虚设结构物，布置在所述检查对象与所述光源之间，并且包含预定形状的图案；以及
图像获取设备，用于接收经过所述虚设结构物及所述检查对象的光并进行成像，并且包括透镜和成像部，
其中，所述光源、所述虚设结构物、所述检查对象和所述图像获取设备沿着直线依次布置，并且光的焦点通过所述透镜形成在所述虚设结构物上。


2.根据权利要求1所述的透射光学系统的检查装置，其中，
所述检查对象包含凹凸。


3.根据权利要求2所述的透射光学系统的检查装置，其中，
所述虚设结构物包括线条图案或网格图案。


4.根据权利要求3所述的透射光学系统的检查装置，其中，
通过所述图像获取设备拍摄因所述凹凸而畸变的所述线条图案或所述网格图案...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴世珍，李银珪，李太圭，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR