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具有高介电常数钝化层的双通道横向功率MOSFET器件制造技术
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下载具有高介电常数钝化层的双通道横向功率MOSFET器件的技术资料
文档序号:24039109
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本发明属于半导体功率器件技术领域,涉及横向功率MOSFET器件(Metal‑Oxide‑Semi conductor Field‑Effect Transistor),具体为一种具有高介电常数钝化层的双通道横向功率MOSFET器件;用以解决...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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