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本发明涉及一种等离子体处理，其用于实施介电阻挡等离子体放电的设备，所述等离子体处理设备包括一具有处理侧(5)的电极单元(1)和一供给单元(10)，电极单元(1)能够与所述供给单元机械连接并且电接触，以便被供给用于产生等离子体所需的供给电压，...
该专利属于奇诺格有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇诺格有限责任公司授权不得商用。

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