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本发明提供一种能够判定等离子体的异常的技术。提供以下的技术，即，使用配置在处理室内的拍摄装置，拍摄向上述处理室内供给等离子体化了的气体的气体供给口，根据所拍摄的上述气体供给口的图像，检测等离子体的发光强度，根据检测出的发光强度，判定有无发生...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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