下载晶片载置台及其制法的技术资料

文档序号:24020355

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本发明的晶片载置台(10),在具有晶片载置面(12a)的陶瓷基体(12)的内部,从离晶片载置面(12a)较近的一侧以与晶片载置面(12a)平行的方式埋设有第一电极(21)和第二电极(22)。晶片载置台(10)具备将第一电极(21)与第二电极...
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