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本发明提供一种即使在设有基板冷却工序的情况下也能够抑制生产率降低的电磁波处理技术。具有对基板进行加热的处理室、使由所述处理室加热的基板冷却的冷却室、以及输送所述基板的基板输送部，利用所述基板输送部搬入所述处理室的所述基板的个数比搬入所述冷却...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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