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间隙传感器的校正方法技术
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文档序号:24018856
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一种间隙传感器(31、32)的校正方法,所述间隙传感器(31、32)设置于通过电磁力以非接触的形式对悬浮体(5)进行支承的磁轴承(21、22),并检测所述悬浮体(5)的位置控制中的成为位置的基准的基准物与所述悬浮体(5)之间的间隙(g),其...
该专利属于大金工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大金工业株式会社授权不得商用。
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