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基底基板、功能元件及基底基板的制造方法技术
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文档序号:24018581
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提供一种基底基板(6),其具备支撑基板(1)、和设置在支撑基板(1)的主面(1a)上的基底结晶层(3),其中该基底结晶层(3)由13族元素氮化物结晶构成、且具有结晶培养面(3a)。基底结晶层(3)具备隆起部(5)。在隆起部(5)与支撑基板(...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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