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本发明提供一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器(30)及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面...
该专利属于岩谷产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过岩谷产业株式会社授权不得商用。

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