被处理对象物的内壁面的处理方法技术

本发明专利技术提供一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器(30)及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面进行处理。被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位；以及在确认有无异常部位的步骤之后，以与被处理对象物的内壁面接触的方式使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。

Treatment method of the inner wall surface of the object to be treated

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】被处理对象物的内壁面的处理方法
本专利技术关于一种被处理对象物的内壁面的处理方法。本申请基于并要求于2017年11月30日提交的日本申请第2017-230351号的优先权的权益，上述日本申请所记载的全部记载内容援引于此。
技术介绍
已知向供给气体的配管等供给臭氧气体并对内壁面进行钝态化处理的方法(例如参照专利文献1)。专利文献1公开的钝态化处理方法将臭氧处理单元连接于已施工完毕的配管系统，使臭氧气体作用于配管系统的内表面，从而对配管系统的内表面进行钝态化处理。是如下的钝态化处理方法，首先，使氧气中的臭氧浓度为10体积％以下的臭氧气体作用预定时间，然后使将臭氧气体浓度阶段性地增加所得的臭氧气体分别作用预定时间。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2003-201554号公报。
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在上述专利文献1公开的钝态化处理方法中，因使臭氧浓度阶段性地增加，因此处理变得烦杂。因此，本专利技术目的之一在于提供一种可有效率地对被处理对象物的内壁面进行处理的被处理对象物的内壁面的处理方法。用于解决课题的方案本专利技术的被处理对象物的内壁面的处理方法将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面进行处理。被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位；以及在确认有无异常部位的步骤之后，以与被处理对象物的内壁面接触的方式，使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。专利文献1中，为了消除若在作为原料的纯水或纯化水或者其他流体中混入金属离子成分而对成分造成影响这一问题(参照专利文献1的第[0006]段落)，并且为了高精度地维持半导体用气体的浓度(参照专利文献1的第[0004]段落)，而进行专利文献1所示的钝态化处理。此处，本专利技术的专利技术者发现：即便不进行此种处理，亦有如下用途，即，当使用被处理对象物并利用臭氧气体进行物体的表面处理时，虽未达成由腐蚀而溶出的金属量的减少，但只要可抑制臭氧浓度的降低即可。而且，为了即便未进行专利文献1所示的钝态化处理亦可抑制臭氧浓度的降低而进行了积极研究，从而构成本专利技术。在本专利技术的被处理应付物的内壁面的处理方法中，首先进行确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位的预处理。此处，异常部位例如是指油脂等有机物或树脂等异物附着于被处理对象物的内壁面的部位或存在于被处理对象物的内壁面的损伤部位。借由进行此种预处理，可在进行后述的正式处理时抑制异常部位中发生急遽的发热而对配管等造成损伤。接下来，预处理之后，进行以与被处理对象物的内壁面接触的方式使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通的正式处理。借由如此进行正式处理，在对被处理对象物执行使用臭氧气体进行表面处理的物体的表面处理时，可抑制臭氧浓度的降低。本专利技术的正式处理并非如专利文献1公开那样使臭氧浓度阶段性地增加(参照专利文献1的[权利要求2])，无须经过使正式处理时的臭氧气体的浓度增加这一变更的步骤，因而可有效率地对被处理对象物的内壁面进行处理。尤其如专利文献1中第[0019]段落所公开的那样，使用浓度为40体积％、80体积％的高浓度的臭氧气体进行钝态化处理。此种高浓度的臭氧气体处理困难。然而，本专利技术中，使用10体积％以上30体积％以下的低浓度的臭氧气体，进一步温度为60℃以下这种相对较低温度，因而处理变得容易。根据以上，借由本专利技术的被处理对象物的内壁面的处理方法可有效率地对被处理对象物的内壁面进行处理。在上述被处理对象物的内壁面的处理方法中，在使臭氧气体流通的步骤中，亦可使温度为室温以上的臭氧气体流通。借由使此种温度的臭氧气体流通，可更有效率地对被处理对象物的内壁面进行处理。在上述被处理对象物的内壁面的处理方法中，使臭氧气体流通的步骤可在6小时以上48小时以下的时间范围内进行。借由在此种时间范围内进行，可更确实地对被处理对象物的内壁面进行处理。在上述被处理对象物的内壁面的处理方法中，在确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位的步骤中，可包括如下步骤，即，以与被处理对象物的内壁面接触的方式，使浓度为5体积％以上且小于10体积％的臭氧气体流通。在油脂等有机物或树脂等异物附着于内壁面的情形时或内壁面有损伤的情形时，若供给臭氧气体，则该部分会因氧化发热而看见温度上升。因此，借由使浓度为5体积％以上且小于10体积％的臭氧气体流通，可确认被处理对象物中有无温度上升。如此，可确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位。而且，借由继续进行正式处理可进一步实现效率化。在上述内壁面的处理方法中，被处理对象物可包括第一壁及与第一壁相对配置的第二壁；在第一壁的附近，设置有用于将臭氧气体供给至被处理对象物内的供给口；在第二壁的附近，设置有用于将臭氧气体排出至被处理对象物外的排出口。借由将被处理对象物设为此种构成，可一边抑制被处理对象物内的臭氧气体的滞留，一边使臭氧气体从第一壁侧朝向第二壁流通。如此，可均匀地对被处理对象物的内壁面进行处理。在上述内壁面的处理方法中，在使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通的步骤开始后，若利用确认被处理对象物的至少一部分区域中有无温度上升的步骤确认出被处理对象物的至少一部分区域中有无温度上升，则可进一步具备切换为浓度为5体积％以上且小于10体积％的臭氧气体或氧气且使之流通的步骤。借由如此确认有无温度上升的步骤，可确认被处理对象物中有无异常发热。而且，借由切换为浓度为5体积％以上且小于10体积％的臭氧气体或氧气，可抑制被处理对象物的温度上升。专利技术的效果根据上述被处理对象物的内壁面的处理方法，可提供可有效率地对被处理对象物的内壁面进行处理的被处理对象物的内壁面的处理方法。附图说明图1是表示处理装置的一例的概略图。图2是表示被处理对象物的内壁面的处理方法的流程图。图3是表示处理装置的第一变形例的概略图。具体实施方式接下来，一边参照附图一边对本专利技术的被处理对象物的内壁面的处理方法的一实施方式进行说明。下面的附图中对相同或相当的部分附上相同参考符号且不再重复其说明。首先，对本专利技术的被处理对象物的内壁面的处理方法中使用的处理装置进行说明。图1是表示处理装置的一例的概略图。参照图1，使用处理装置1对作为被处理对象物的处理容器30的内壁面35进行处理。处理容器30中收容使用臭氧气体进行表面处理的物体。处理容器30例如是在处理容器30内载置半导体晶圆而进行表面的清洁的腔室。需要说明的是，在图1的处理容器30中，将从后述的上壁朝向下壁的方向设为Y轴方向，与Y轴方向垂直的方向设为X轴方向。处理装置1具备臭氧发生器10、臭氧气体浓缩器20、配管41、42、43、44。臭氧发生器10例如是臭氧发生器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用所述臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器及供给所述臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对所述被处理对象物的内壁面进行处理，所述被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：/n对所述被处理对象物的所述内壁面中有无异常部位进行确认；以及/n在确认有无所述异常部位的步骤之后，以与所述被处理对象物的所述内壁面接触的方式，使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171130 JP 2017-2303511.一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用所述臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器及供给所述臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对所述被处理对象物的内壁面进行处理，所述被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：
对所述被处理对象物的所述内壁面中有无异常部位进行确认；以及
在确认有无所述异常部位的步骤之后，以与所述被处理对象物的所述内壁面接触的方式，使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。


2.根据权利要求1所述的被处理对象物的内壁面的处理方法，其中，在使所述臭氧气体流通的步骤中，使温度为室温以上的所述臭氧气体流通。


3.根据权利要求1或2所述的被处理对象物的内壁面的处理方法，其中，使所述臭氧气体流通的步骤是在6小时以上48小时以下的时间范围内进行。


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【专利技术属性】
技术研发人员：泉浩一，古谷政博，山本刚，
申请(专利权)人：岩谷产业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP