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文档序号:24018046
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本申请涉及用于制备图案化基底的方法。所述方法可以应用于制造诸如电子装置和集成电路的装置的过程,或者其他应用,例如集成光学系统、磁畴存储器的引导和检测图案、平板显示器、液晶显示器(LCD)、薄膜磁头或有机发光二极管等的制造,并且还可以用于诸如...
该专利属于株式会社LG化学所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社LG化学授权不得商用。
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