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具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品制造技术
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文档序号:24017704
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一种制品,其包括:具有相对主表面的无机氧化物基材;和布置在基材的第一主表面上的光学膜结构,所述光学膜结构包括以下一种或多种:含硅氧化物、含硅氮化物和含硅氧氮化物,以及约50nm至小于500nm的物理厚度。制品展现出:在约100nm压痕深度测...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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