下载间歇涂布装置的技术资料

文档序号:24016974

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供间歇涂布装置,即使提高涂布速度,也能够实现涂布开始端部的涂布膜的膜厚的均匀化。具体而言,本发明的间歇涂布装置(1)具有:提供部(10),其提供涂液(20);涂布部(15),其将从提供部提供的涂液经由提供路(21)而涂布至基材(30)的表...
该专利属于东丽工程株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽工程株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。