间歇涂布装置制造方法及图纸

技术编号:24016974 阅读:50 留言:0更新日期:2020-05-02 03:46
提供间歇涂布装置,即使提高涂布速度,也能够实现涂布开始端部的涂布膜的膜厚的均匀化。具体而言,本发明专利技术的间歇涂布装置(1)具有:提供部(10),其提供涂液(20);涂布部(15),其将从提供部提供的涂液经由提供路(21)而涂布至基材(30)的表面上;提供阀(12),其具有对提供路进行开闭的阀芯(42);以及驱动部,其对阀芯进行驱动,驱动部由第1气缸(13)和第2气缸(14)构成,第1气缸通过与阀芯连结的第1活塞(52)的往复动作而对阀芯的开闭进行控制,第2气缸将与阀芯连结的第2活塞(62)向第1活塞将阀芯关闭的方向进行驱动。

Intermittent coating device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】间歇涂布装置
本专利技术涉及间歇涂布装置,其对连续地搬送的基材的表面间歇地涂布涂液而断续地形成涂布区域和未涂布区域。
技术介绍
以往的间歇涂布装置中,例如如专利文献1等所记载的那样,通过两个切换阀(提供阀、回收阀)对将从涂液容器提供的涂液从涂布模头排出到基材表面的流路和将涂液回收至涂液容器的流路进行切换。由此,能够一边连续地进行来自涂液容器的涂液的提供,一边在连续搬送的基材的表面上断续地形成涂布区域和未涂布区域。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2014-188449号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题为了增加每单位时间的涂布面积而提高生产率,需要使来自涂布模头的涂液的每单位时间的排出量以及基材的搬送速度(即涂布速度)提高。在提高了基板的搬送速度的情况下,为了在连续搬送的基材的表面上按照规定的时机形成涂布区域和未涂布区域,需要快速地进行两个切换阀(提供阀、回收阀)的切换,因此需要提高切换阀的驱动速度。因此,优选在切换阀的驱动中使用响应性优于电动致动器(例如伺服电动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种间歇涂布装置,其在连续地搬送的基材的表面上间歇地涂布涂液而断续地形成涂布区域和未涂布区域,其中,/n该间歇涂布装置具有:/n提供部,其提供所述涂液;/n涂布部,其将从所述提供部提供的涂液经由提供路而涂布至所述基材的表面上;/n提供阀,其具有对所述提供路进行开闭的阀芯;以及/n驱动部,其对所述阀芯进行驱动,/n所述驱动部由第1气缸和第2气缸构成,/n所述第1气缸通过与所述阀芯连结的第1活塞的往复动作而控制所述阀芯的开闭,/n所述第2气缸将与所述阀芯连结的第2活塞向所述第1活塞将所述阀芯关闭的方向进行驱动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171117 JP 2017-2218111.一种间歇涂布装置,其在连续地搬送的基材的表面上间歇地涂布涂液而断续地形成涂布区域和未涂布区域,其中,
该间歇涂布装置具有:
提供部,其提供所述涂液;
涂布部,其将从所述提供部提供的涂液经由提供路而涂布至所述基材的表面上;
提供阀,其具有对所述提供路进行开闭的阀芯;以及
驱动部,其对所述阀芯进行驱动,
所述驱动部由第1气缸和第2气缸构成,
所述第1气缸通过与所述阀芯连结的第1活塞的往复动作而控制所述阀芯的开闭,
所述第2气缸将与所述阀芯连结的第2活塞向所述第1活塞将所述阀芯关闭的方向进行驱动。


2.根据权利要求1所述的间歇涂布装置,其中,
所述第2气缸相对于所述提供阀配置在与所述第1气缸相同的一侧,
所述第2活塞与所述第1活塞连结。


3.根据权利要求2所述的间歇涂布装置,其中,
所述第2气缸在所述第1气缸的两侧并列地配置有两个。


4.根据权利要求1所述的间歇涂布装置,其中,
按照所述第1活塞向将所述阀芯打开的方向进行驱动的驱动力比所述第2活塞向将所述阀芯关闭的方向进行驱动的驱动力大的方式分别设定输入至所述第1气缸和所述第2气缸的压力空气的压力。

【专利技术属性】
技术研发人员:渡边敦横井健太上田胜彦
申请(专利权)人:东丽工程株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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