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用于控制流体抗蚀剂液滴的布置的系统和方法技术方案
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下载用于控制流体抗蚀剂液滴的布置的系统和方法的技术资料
文档序号:24016970
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本公开涉及一种流体分配系统、一种具有流体分配系统的压印光刻系统、一种利用所述流体分配系统制造物品的方法。所述流体分配系统包括:流体分配器和加热器。所述流体分配器构造成将流体的液滴分配到基板上。所述加热器构造成将液滴温度维持在大于23℃。所述...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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