下载场效应管器件及其制造方法的技术资料

文档序号:24013517

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本发明提出一种场效应管器件及其制造方法,涉及半导体生产技术领域。所述场效应管器件包括:衬底;阱区,位于所述衬底中,注入有第一型态的离子,所述阱区包含沟道区、轻掺杂区、源区与漏区;栅极结构,位于所述衬底上,所述栅极结构位于沟道区正上方;其中,...
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