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包含铁电材料的凹陷晶体管制造技术
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下载包含铁电材料的凹陷晶体管的技术资料
文档序号:24013445
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本申请涉及包含铁电材料的凹陷晶体管。一些实施例含括晶体管构造,其具有内衬在基底内的凹槽中的第一绝缘结构。第一导电结构内衬在所述第一绝缘结构的内部中,且铁电结构内衬在所述第一导电结构的内部中。第二导电结构位于所述铁电结构的下部区域内,且所述第...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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