下载晶圆承盘标示方法及其结构的技术资料

文档序号:24013362

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶圆承盘标示的成型方法,包含有下列步骤:一成型步骤为以塑料成型为一承盘本体,该承盘本体一侧为一承载面,另一侧为一底面,一周面位在该承载面与该底面间,且该周面连结该承载面及该底面。一被覆步骤为在该承盘本体的该周面或该底面设置一被覆层,该被...
该专利属于王智所有,仅供学习研究参考,未经过王智授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。