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本发明涉及一种指纹识别模块的制备方法,其方法包括:提供具有相对的第一表面以及第二表面衬底;在所述衬底的第一表面上形成第一介质层以及导电布线层;在所述第一介质层中形成一开槽区;在所述导电布线层上形成导电金属柱;提供一载板,在所述载板上设置离型...该专利属于徐州顺意半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州顺意半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种指纹识别模块的制备方法,其方法包括:提供具有相对的第一表面以及第二表面衬底;在所述衬底的第一表面上形成第一介质层以及导电布线层;在所述第一介质层中形成一开槽区;在所述导电布线层上形成导电金属柱;提供一载板,在所述载板上设置离型...