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一种薄膜元件的制造方法包含形成一栅极金属层于一基板，再形成一栅极绝缘层于该栅极金属层上。接着，形成至少一含硅层于该栅极绝缘层上，之后闪光灯退火该栅极金属层以及该含硅层，并形成一源极金属层以及一漏极金属层于该含硅层上。闪光灯退火结晶可一次性、...
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