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提供了一种掩模修复设备和一种掩模修复方法，所述掩模修复设备可以包括：平台；立体成像单元，测量平台上的掩模的立体图像；控制单元，将立体图像与掩模的正常图像进行比较并产生掩模的缺陷图像；以及激光单元，在控制单元的控制下，将激光束照射到掩模的缺陷...
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