下载用于双片微通道板叠加测试的装置和方法的技术资料

文档序号:24009265

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本申请公开了一种用于双片微通道板叠加测试的装置和方法,测试装置包括真空泵组、电子/离子源、双片叠加的微通道板测试用管壳和信号检测系统。本发明可对双片叠加结构的微通道板进行测试,控制两片微通道板之间的距离,实现两片微通道板分别进行电压调控,微...
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