下载一种制备单晶的装置和碳化硅单晶的制备方法的技术资料

文档序号:24006233

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本申请公开了一种制备单晶的装置和碳化硅单晶的制备方法,属于半导体材料领域。该制备单晶的装置包括坩埚、加热线圈组和保温结构,所述坩埚形成生长腔,所述生长腔包括盛放原料的原料区和设置籽晶的长晶区,所述加热线圈组围绕所述坩埚的侧壁设置,所述加热线...
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