下载蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模制造装置的技术资料

文档序号:24006132

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本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够实现轻量化且可形成比以往更高精细的蒸镀图案的蒸镀掩模的制造方法、可制造与比以往更高精细的有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法。所述方法具有如下的工序:准备层积有设有缝隙的金属掩模和树脂板的带树脂板...
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