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一种涂布系统，包含涂布室，该涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁。该外围室壁限定室中心。等离子体源定位在该室中心处。该涂布系统还包含固持多个待涂布基板的样品保持器，该样品保持器可在距该室中心的第一距离处绕该室中心旋转。第一隔离屏蔽件绕该室中心定位...
该专利属于蒸汽技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过蒸汽技术公司授权不得商用。

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