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本发明公开了一种金属研磨剂及其制作方法,涉及化学机械研磨剂技术领域。一种金属研磨剂,包括磨料与研磨油,所述研磨油为嘉实多HONILO 980润滑油,磨料与研磨油的质量比为1:2.3~2.6。一种金属研磨剂的制作方法,包括以下步骤:在研磨剂油...该专利属于河北华北柴油机有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北华北柴油机有限责任公司授权不得商用。
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本发明公开了一种金属研磨剂及其制作方法,涉及化学机械研磨剂技术领域。一种金属研磨剂,包括磨料与研磨油,所述研磨油为嘉实多HONILO 980润滑油,磨料与研磨油的质量比为1:2.3~2.6。一种金属研磨剂的制作方法,包括以下步骤:在研磨剂油...