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本实用新型公开了一种晶体材料均一化抛光装置，包括：进给单元、夹持单元、抛光单元和控制单元；所述进给单元，用于带动工件沿设定运动轨迹在抛光单元表面运动，并实时将其运动轨迹相关信息反馈至控制单元；所述夹持单元，用于夹持工件并使工件在运动过程中自...
该专利属于江苏集萃精凯高端装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃精凯高端装备技术有限公司授权不得商用。

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