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一种多工位柔性抛光主轴装置制造方法及图纸
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下载一种多工位柔性抛光主轴装置的技术资料
文档序号:24000964
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一种多工位柔性抛光主轴装置,包括上平台和抛光机构,所述抛光机构包括主轴组件、上下柔性组件和左右柔性组件,所述左右柔性组件设于上平台上,所述上下柔性组件设于左右柔性组件上,所述主轴组件设于上下柔性组件上,所述主轴组件包括伺服电机、传动机构、密...
该专利属于宇晶机器(长沙)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宇晶机器(长沙)有限公司授权不得商用。
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