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本发明公开了一种晶圆洗边系统，其结构包括脚轮、箱体、控制面板、清洗槽、上盖，脚轮安装于箱体下端四角并且采用机械连接，控制面板安装于箱体正面并且通过导线电连接，清洗槽嵌入安装于箱体内侧，上盖安装于箱体上端并且采用铰链连接；清洗槽包括沿板、清洗...
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