下载一种基于ALD镀膜的高灵敏度光波导传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:23979901

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本发明涉及一种光波导传感器,包括传感器本体,所述传感器本体包括依次设置的输入单模光波导、多模光波导和输出单模光波导,所述输入单模光波导和多模光波导之间、所述多模光波导和输出单模光波导之间分别无缝连接,所述多模光波导包括芯层、形成在所述芯层的...
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