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本发明提供了一种降低晶体内部应力的退火处理方法,包括以下步骤:(1)准备阶段:将需要退火处理的晶体放置于坩埚中,对坩埚进行抽真空和通入惰性气体;(2)加热阶段,利用加热装置对所述坩埚进行加热,加热过程中,分别控制加热装置中同心设于坩埚上方的...该专利属于山东天岳先进材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳先进材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种降低晶体内部应力的退火处理方法,包括以下步骤:(1)准备阶段:将需要退火处理的晶体放置于坩埚中,对坩埚进行抽真空和通入惰性气体;(2)加热阶段,利用加热装置对所述坩埚进行加热,加热过程中,分别控制加热装置中同心设于坩埚上方的...