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本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种行星轮晶控装置。该行星轮晶控装置旋转盘的中部设有中心杆，中心杆的顶部固定有晶控仪探头支架，晶控仪探头支架上设有晶控仪探头，该晶控仪探头能够实时检测镀膜区域的膜厚，减少了多个晶控检测的经济成本，同时也...
该专利属于杰莱特(苏州)精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰莱特(苏州)精密仪器有限公司授权不得商用。

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