温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了氯硅烷残液的过滤系统和方法，系统包括：搅拌器、氮气储罐、过滤器和氯硅烷残液储罐，搅拌器设硅藻土入口、四氯化硅入口和混合物出口；氮气储罐通过第一管道与搅拌器相连，第一管道上设第一阀门；过滤器内自上而下限定出净液腔、过滤腔和进料腔，...该专利属于中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。