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一种抛光转盘驱动装置制造方法及图纸
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文档序号:23968163
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本发明提供了一种抛光转盘驱动装置,其包括驱动机构、转盘和机架,其中,驱动机构包括主轴和与主轴的下端相接的驱动电机,驱动电机能驱动主轴转动;转盘连接于主轴的上端并能与主轴同步转动,转盘的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑块;机架上连接有支撑...
该专利属于浙江芯晖装备技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江芯晖装备技术有限公司授权不得商用。
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