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本实用新型公开了一种半导体单片集成电路的光刻设备，包括底座，所述底座上表面两端分别设置有收缩杆，且底座上表面设置有喷胶台，所述喷胶台一侧设置有软烘台，所述软烘台一侧设置有曝光台，所述收缩杆上端设置有移动杆，且收缩杆一侧设置有固定螺丝，所述移...
该专利属于盐城华旭光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城华旭光电技术有限公司授权不得商用。

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