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本实用新型属于光刻机技术领域，尤其是一种集成电路制备用光刻机，包括箱体，所述箱体的一端内底壁固定安装有光刻机，所述所述箱体的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴、第二转轴和第三转轴，所述第一转轴的表面固定套接有传送装置。该集成电路制备用光刻...
该专利属于陈广焕所有，仅供学习研究参考，未经过陈广焕授权不得商用。

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