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弹性波元件及其制造方法技术
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文档序号:23941444
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针对在由多晶陶瓷构成的支撑基板上直接接合压电性材料基板这种类型的弹性波元件,提高弹性波元件的Q值。弹性波元件10具备:压电性材料基板1A;中间层2,所述中间层2设置于压电性材料基板1A上,并且由选自由氧化硅、氮化铝以及硅铝氧氮陶瓷组成的组中...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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