下载激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件制造方法的技术资料

文档序号:23941216

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根据一种实施方式的激光照射装置(1)包括用于产生激光的激光生成装置(14)以及用于浮起待施加所述激光的处理对象(16)的浮起单元(10)。所述浮起单元(10)包括第一区域和第二区域,所述第一和第二区域设置为使得在平面视角下,所述激光的焦点与...
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