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本公开涉及太阳能电池及其制造方法。用于制造太阳能电池的方法包括：将硅晶片放置到扩散炉内；控制扩散炉以使得扩散炉内的环境处于第一温度和第一压强；向扩散炉中供应磷源气体和氧气达第一时间段；控制扩散炉以使得扩散炉内的环境处于第一压强和第二温度，第...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。