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一种低场量子电阻测量仪制造技术
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文档序号:23930783
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一种低场量子电阻测量仪,使用技术成熟、维护成本低的GM制冷机作为冷源进行量子霍尔电阻测量,并通过悬挂机构将多级GM制冷机与杜瓦冷罐相互独立设置以减少振动对量子霍尔电阻芯片的测量不确定度的影响,利用常温下的低频电流比较仪电桥将量子霍尔电阻量值...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。
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