下载一种全固态绝缘透波PVD膜层及其制备方法和应用的技术资料

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本发明属于PVD溅射技术领域,公开了一种全固态绝缘透波PVD膜层及其制备方法和应用。本发明的的全固态绝缘透波PVD膜层包括Si‑M‑N层;任选地,所述Si‑M‑N层上还有Si‑M‑C层或/和L‑O层,Si‑M‑N层作为打底层;其中,所述M为...
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