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本发明涉及研磨装置用调节器，该研磨装置用调节器包括：调节盘，其用于重整研磨垫；加压部，其用于向调节盘施加轴向压力；测量部，其设置于加压部与调节盘之间，用于测量来自加压部的压力；校正部，其基于测量部测量的信号，校正来自加压部的压力。...
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