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本实用新型公开了一种半导体加工设备用承载装置，包括承载台、支撑柱和橡胶减震盘，所述承载台两侧底部均对称开设有矩形凹槽，且两组所述矩形凹槽内均螺纹连接有紧固螺栓，所述承载台顶端面四角均开设有内螺纹孔，所述承载台内部对称通过螺栓固定安装有液压推...
该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。

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