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本实用新型公开了一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，属于半导体工艺设备技术领域，其技术方案要点是，包括外弯管和内弯管，外弯管上端口的外沿铸有第一凸缘，第一凸缘的上端面同轴开设有嵌入槽，嵌入槽的侧壁径向开设有四个插槽；内弯管从...
该专利属于德兴市意发功率半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德兴市意发功率半导体有限公司授权不得商用。

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